共焦点レーザー顕微鏡・ウエハエッジ計測装置の提供
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2007.12.03.
DMDコンフォーカルレーザー顕微鏡 MODEL:DMX-010V発売。
408nmレーザー使用。DigitalMicromirrorDevice使用の独自の光学系により共焦点画像とカラー画像の同時観察可能。
秒30枚高速描画など自動機への搭載に最適な顕微鏡
セミコンジャパン2007に出展致します。07/12/5〜12/7幕張メッセ ブースNo.9D-703
2007.10.25.
ウエハエッジ(端面)形状計測装置の新型EPM-300(S)を発売開始。
ウエハエッジプロファイラに高速モード追加。
共焦点レーザー顕微鏡によるエッジ形状の高精度計測を、従来の約10倍の速度でプロファイルを取得する高速計測機能を追加。
共焦点光学系による全焦点画像も取得可能なため、ウエハエッジの欠陥部分の凹凸が数値で明確に判別可能。
2007.10.05.
フィルム用テンションセンサ発売
プリンタ感熱フィルム、偏光フィルムなどのフィルム状のテンション(張力)を走行中高精度高速測定可能。
ウエハエッジ(端面)形状計測装置(ウエハのベベル部のプロファイルを高精度計測) EPM-300 発売
ハンディタイプ5N用テンションメータ HD-500 発売
樹脂部品評価用、動摩擦測定装置 DFT-2発売
容器開閉トルク計測装置(キャップトルクアナライザ) CTA1-50 発売
デジタルトルクアナライザー DTA-20 発売
DVカセット・8mmカセット・DDSカセット内蔵タイプのテンションセンサーを開発
データストレージ(LTO,DLT,SDLT,AIT)に使用出来る、高精度・高速対応型テンションセンサーを開発
ライン向け多チャンネル同時テンション計測システムの開発
カセット巻き取りトルク計・ローラロストルク計・モータコキングトルク計等の高精度微少トルクセンサーの開発
データストレージ(LTO,SuperDLTなど)用テープ幅測定装置を開発
光ファイバ各種(シングルモードSMF、偏波保持 PANDAなど)観察や、 液晶検査など特殊用途対応の対物レンズ開発
1/4インチモノクロ高精度小型CCDカメラ開発
Resolution:570TVline,S/N: 46dB以上,VideoOutput:1Vp-p,75Ωcomposite
ワイヤー用テンションセンサ SW-2000 発売
クリーンルームも所有し、高精度な組立・配線作業(半導体検査装置、
顕微鏡、精密ステージなど)体制確立