ウエハエッジプロファイル計測装置(ウェーハエッジ) 製品紹介

オプトエレクトロニクス関連 〜ロールパターン測定器(PRI-P)

ロールパターン測定器(PRI-P)

Roll Pattern Inspectionr

MODEL:RPI-P

 

印刷用ロールなど円筒状のワークに直接設置し、高精度高分解能にてワークの パターン形状計測が可能。
ワークに直接設置できるため大型ロールなどを わざわざ計測のために別設備に移設移動する必要なく、手軽に 計測できます。
共焦点式レーザー顕微鏡技術の応用により、XY 平面及びZ(深さ)方向の計測も可能 なため、三次元形状として パターンを計測することができます。面積計算・体積計算 ・段差測定などさまざまな計測・計算が可能です。

特徴
・ロールの上に設置する事で手軽に高分解能・高解像度の測定ができる。
・傾き自動補正機能、スキャン範囲自動設定機能、ノイズ除去自動機能により、計測までの時間大幅短縮。
・レーザースキャンにDMD(Digital Micromirror Device)を採用する事で高速・広角スキャンの測定が可能。
・コンフォーカル(共焦点)光学系により非接触で三次元形状及び全てに焦点の合った画像取得する事が可能。
・光源の切替無しに測定画像と、カラーCCD画像の同時観察が可能。
用途

・ ロール表面パターンの開口面積・体積測定
・ ロール表面のキズ・凹凸の高さ、深さ、形状の測定


測定対象例

・グラビアロール、転写ロール、エンボスロールなどのロール
・MLCCなど小型精密電子部品の印刷スクリーンなど
・持ち運びが出来ない大型ワークなど

システム構成

計測データ事例
[格子パターン×50]


[グラビアパターン×50]


[マイクロレンズパターン×50]


主な仕様
解像度 0.5μm
倍率/視野 対物レンズ倍率 モニター上倍率 視野
10× 約140× 約1300×1300μm
20× 約280× 約655×655μm

50×

約700× 約260×260μm
走査速度 水平走査:スリット照明/DMD
垂直走査:30Hz/ガルバノミラードライブ
光源 半導体レーザーダイオード 波長:405nm(Violet Laser)
モニター 21.3インチモニター(Flex Scan S2100-BK)
フレームメモリ 映像用 960(H)×960(V)×8bit
Z軸用  960(H)×960(V)×12bit
スロースキャン 2,4,8,16,32 ※Defを ”1” として、左記倍率でスキャン速度を落とす
画像処理

専用画像処理ソフト

微少寸法測定機能 繰り返し測定精度 0.02μm(3σ)
最小測定単位    0.001μm
表面形状測定機能 繰り返し測定精度 0.02μm(3σ)
最小測定単位    0.01μm
Zステージ ストローク 粗動:22mm 微動:±0.5mm
X-Yステージ ストローク  X方向  ±12.5mm
         Y方向  ±12.5mm
ユーリティ AC100V 50/60Hz MAX8A(単相)
寸法・重量 外形寸法 W410×H290×D150 突起部除く
重量 約10kg

測定ヘッド部 外形寸法
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